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鍍層測厚

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X射線(xiàn)熒光鍍層測厚儀

型號：EDX-V
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產(chǎn)品說(shuō)明、技術(shù)參數及配置

EDX-V是天瑞儀器集30多年X熒光膜厚測量技術(shù),研發(fā)的一款X射線(xiàn)熒光鍍層測厚及成分分析儀。儀器采用多導毛細管X射線(xiàn)光學(xué)系統,對于微米級尺寸電子零件、芯片針腳、晶圓微區等部件的鍍層厚度和成分分析,能進(jìn)行高效、準確的測量。

性能優(yōu)勢
1、結合鍍層行業(yè)微小樣品的檢測需求,專(zhuān)門(mén)研發(fā)適用于鍍層檢測的超近光路系統,減少能量過(guò)程損耗。搭載先進(jìn)的多導毛細管聚焦管,極大的提升了儀器的檢測性能,聚焦強度提升1000~10000倍,更高的檢測靈敏度和分析精度以及高計數率保證測試結果的精確性和穩定性。
2、全景+微區雙相機設計,呈現全高清廣角視野,讓樣品觀(guān)察更全面;微米級別分辨率,更好的滿(mǎn)足超微產(chǎn)品的測試,讓測試更廣泛更便捷。
3、先進(jìn)的多導毛細管技術(shù),信號強度比金屬準直系統高出幾個(gè)數量級。
4、多規格可選的多導毛細管,很好的滿(mǎn)足用戶(hù)不同測試需求。
5、高精度XYZ軸移動(dòng)測試平臺,結合雙激光點(diǎn)位定位系統,可實(shí)現在樣品測試過(guò)程中的全自動(dòng)化感受一鍵點(diǎn)擊,測試更省心。

產(chǎn)品應用領(lǐng)域
測量超微小部件和結構,如:印制線(xiàn)路板、連接器或引線(xiàn)框架等;
分析超薄鍍層,如:厚度薄至2nm的Au鍍層和≤30nm的Pd鍍層;
測量電子和半導體行業(yè)中的功能性鍍層;
分析復雜的多鍍層系統;
全自動(dòng)測量,如:用于質(zhì)量控制領(lǐng)域;
符合ENIG/ENEPIG要求,符合DINISO3497,ASTMB568,IPC4552和IPC4556標準。

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